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本发明属于调节阀工业控制系统中的性能分析领域，提出一种调节阀汽蚀诊断的装置及其诊断方法。整个调节阀汽蚀诊断管路系统包括了用于提高设定压力的多级离心泵、调节多级离心泵扬程和转速的多级离心泵变频器、恒温流体储蓄罐、调节阀阀前流体流量检测装置、调节阀阀前流体压力检测装置、待诊断调节阀对象、调节阀阀后流体压力检测装置、振动加速度传感器、声音传感器、温度传感器。通过NI数据采集及存储装置，将采集到的调节阀上游侧流体压力、调节阀阀前流体流量、调节阀阀后流体压力、调节阀阀后Z轴振动加速度以及声音加速度计算衡量是否发生汽蚀。通过数据诊断装置可以诊断出调节阀在某一固定开度的工况参数，实现对调节阀是否发生汽蚀的现象进行诊断评估。