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专利名称：一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法申请号：2012105663755 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：塑料 Zn 组装技术相似专利发布日：2024/01/23
摘要：一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，以Zn(NO3)2·6H2O和NH4F为原料溶于蒸馏水中配制成前驱液，将基板浸泡在OTS-甲苯溶液中制备OTS-SAMs膜，将OTS-SAMs膜干燥后于紫外光下照射得到表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板，在70℃～80℃下将基板的功能化OTS-SAMs膜的一面朝下悬浮于前驱液表面，使功能化OTS-SAMs膜与前驱液接触，通过反向吸附法沉积20h制备出非晶态ZnO薄膜，将非晶态薄膜干燥后在300℃保温退火制备出晶化的图案化的ZnO薄膜。本发明工艺简单，实验条件要求较低，得到的ZnO薄膜均匀致密。将本发明应用于图案化ZnO薄膜的制备，在微电子领域具有广阔的应用前景。

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