本发明公开了一种微波谐振式角度传感器,包括定子、转子,定子、转子均由介电材料制成,定子开有通孔,通孔内壁覆有金属,定子的第一表面刻蚀有裂环谐振单元结构,第二表面设有金属传输线,金属传输线的外端连接输入端口,内端连接通孔内的金属;转子的一表面设有金属线,转子的该表面与定子的第一表面贴合以形成电接触,通过定子表面与转子表面的电接触形成完整的谐振单元。本发明角位移传感器具有高灵敏度、宽角度测量范围的特点,其解决了现有角度传感器灵敏度低、误差大、角度范围小的问题,对促进微波角位移传感器的产业化进程有着十分积极的作用。
📄 2021104475762
📂 G01B7_30
👤 杭州电子科技大学
📅 2021-04-25