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本发明提供一种FTIR结合CARS‑ELM的SF6分解物检测方法，其包括分解物光谱采集、光谱特征提取以及建立分解物定量模型；本发明根据朗伯比尔定律扣除干扰背景，提取出淹没在SF6中分解物的有效吸收光谱；采用蒙特卡罗法剔除异常样本建立有效的SF6分解物数据集；通过CARS法进行光谱特征选择，建立分解物的ELM定量模型；计算模型预测结果的相对误差和R2来验证该方法的可行性；本发明解决了分解物吸收峰被严重淹没以及不同分解物光谱重叠造成的难以定量的问题，最终实现了SF6分解物的高精度测量，同时该方法也适用于大量样本数据的快速分析，为FTIR光谱在多组分SF6分解物在线定量检测中的应用奠定了基础。