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匀热管板相变微制冷器，包括蒸发器、冷凝器、冷却水管、玻璃板和外部框架，蒸发器是由带有微米四棱台结构和纳米半球的硅表面制作而成，冷凝器由12块带有微米V形槽和圆柱形纳米结构的冷凝板组成，并且每块冷凝板的下表面与玻璃板键合。蒸发池位于蒸发器正面，蒸发池底面上有均匀分布的微米四棱台结构和纳米半球结构，形成双层异质微纳二级结构；冷凝表面上有微米V形槽和纳米圆柱双层结构，其中，微米V形槽均匀分布在冷凝表面上，圆柱形纳米结构以变间距的形式分布在V形槽表面，形成梯度浸润性超疏水液滴自驱动表面；玻璃板与冷凝板背面键合形成冷却水管，蒸发池内的液体与冷却水管相互隔离。本发明还包括上述匀热管板相变微制冷器制造方法。