专利名称：电感耦合等离子体离子源区域降氧装置      申请号：2021112822191     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：等离子体 离子源   相似专利 发布日：2024/06/28  
摘要： 本发明公开一种电感耦合等离子体离子源区域降氧装置，包括炬管和充气套；所述充气套上端密封套设于所述炬管外，下端与所述炬管间隔设置，以形成充气间隙，所述充气套的外侧壁设有连通所述充气间隙的充气孔，所述充气套的下端外侧面向外突设有环形导气凸部，所述环形导气凸部用以与设于所述炬管下方的采样锥底座相对设置，且与所述采样锥底座之间形成出气间隙；其中，惰性气体自所述充气孔进入所述充气间隙，并经过所述出气间隙排出，以包覆在形成于所述炬管末端的离子源火焰外侧，有效降低了外部环境中的氧进入离子源区域对测试产生的干扰。

专利名称：一种金属离子源及其应用和使用方法1      申请号：202010491942X     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词： 离子源   相似专利 发布日：2024/04/01  
摘要： 本发明公开了一种金属离子源及其应用和使用方法，涉及表面工程技术领域。其包括：用作阴极的内芯、用作阳极的外芯和屏蔽管。本发明提供的金属离子源，具有较高的溅射效率，能在管筒状零件内沿轴向均匀地供给金属离子，便于在内表面得到均匀的表面改性层；本发明通过在内芯的双侧开通孔，使得金属离子溅射面积更大，溅射效率更高。将外芯单独设置到屏蔽管外，有利于实现金属离子源整体结构的小型化。从而对更小型的管状工件进行内表面改性，应用范围更广，同时极大程度地简化了结构，提高了可靠性。此外还提供了金属离子源的使用方法和应用。

专利名称：一种聚焦型线性阳极层离子源     申请号：2019110663386     转让价格：面议  收藏
法律状态：授权未缴费   类型：发明   关键词： 离子源   相似专利 发布日：2022/03/15