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专利名称：电感耦合等离子体离子源区域降氧装置申请号：2021112822191 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：等离子体离子源相似专利发布日：2024/06/28
摘要：本发明公开一种电感耦合等离子体离子源区域降氧装置，包括炬管和充气套；所述充气套上端密封套设于所述炬管外，下端与所述炬管间隔设置，以形成充气间隙，所述充气套的外侧壁设有连通所述充气间隙的充气孔，所述充气套的下端外侧面向外突设有环形导气凸部，所述环形导气凸部用以与设于所述炬管下方的采样锥底座相对设置，且与所述采样锥底座之间形成出气间隙；其中，惰性气体自所述充气孔进入所述充气间隙，并经过所述出气间隙排出，以包覆在形成于所述炬管末端的离子源火焰外侧，有效降低了外部环境中的氧进入离子源区域对测试产生的干扰。

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