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一种微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的制作方法，包括以下步骤：(一)X射线阵列组合折射透镜的制作，(M+1)个组合折射透镜的布局结构，使得所有(M+1)个X射线组合折射透镜聚焦的焦斑在相同位置，且位于光轴上；(二)X射线折光器的制作，X射线折光器与所述X射线阵列组合折射透镜贴近放置；(三)X射线光阑的制作，X射线光阑的结构尺寸根据X射线阵列组合折射透镜的结构尺寸确定，实现入射X射线光束的第一次整形和滤波；(四)微型化X射线阵列组合折射透镜集成组件的装调，将X射线光阑、X射线折光器、X射线阵列组合折射透镜置于组件承载台上。本发明尺寸小、制作工艺简单、鲁棒性好、可批量加工、装调简便。