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本发明提供了一种声阻抗主动匹配的超声振动方法及具有声阻抗主动匹配功能的功率超声振动系统，涉及超声技术领域，通过将负载阻抗转换成适合于级联式功率超声换能器的最佳匹配阻抗，实现超声振动系统的声阻抗主动匹配；功率超声振动系统具有声阻抗主动匹配功能的功率超声振动系统、级联式功率超声换能器和具有声阻抗主动匹配功能的超声波变幅杆；能够主动改变超声波振动系统辐射声阻抗，系统功率大、强度高并具有声阻抗主动匹配功能。

本发明一种输出能量分布均匀的多频超声振动系统，属于超声系统领域：包括：多频超声电源、多频换能器和计算工作站；所述多频超声电源产生并输出频率可调整的多频电信号；多频换能器接收多频超声电源传送的多频电信号，并将多频电信号转换为相应频率的机械振动信号，进行残余应力去除；计算工作站根据得到的多频换能器的工作频率，及对应工作频率下的标定超声振幅，计算多频换能器各工作频率的初始相位差、占空比和激振时间配比，实现多频换能器输出的超声振动在被去除残余应力的工件中传播时能量分布均匀，并传送给多频超声电源；本系统实现超声振动在被去除残余应力的工件中传播时能量分布均匀，可将工件中残余应力去除完全，缩短去除时间。