本发明公开了一种线材类金刚石涂层加工装置,包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管,所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体,该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套,所述磁靴环上装配多组磁铁,所述磁靴转动齿固定在磁靴环上,外接传动结构可转动磁靴环。本发明不仅可在高真空下对微型尺寸件、线材件表面磁控溅射PECVD沉积类金刚石涂层,而且还可在低真空下利用环形管气体放电,在微型尺寸件、线材件产生大束流高离化喷涂类金刚石涂层。
📄 2018101629466
📂 C23C14_56
👤 温州职业技术学院
📅 2018-02-26