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本发明公开了一种亚波长光栅偏振器及制备方法,包括偏振片和基层,所述偏振片的下方设置有基层,所述基层的内部包括有光栅层、波导层和包层;所述光栅层与所述波导层位于同一层;所述波导层的折射率大于包层的折射率,所述波导层由多个重复的光栅单元组成;本发明通过采用亚波长全刻蚀光栅结构,并使其中的波导层的折射率大于所述上包层和下包层的折射率,能够兼耦合与分束功能于一体,并具有结构简单、尺寸小、与CMOS工艺兼容性好、制作成本低且快速等优点,能够很好的应用于光电集成电路系统当中,同时采用多层偏振片,可以提高实现高消光比和高透过率。
📄 2017105627056 📂 G02B5_30 👤 河北博夏光电信息科技有限公司 📅 2017-07-11
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发明 已授权

一种亚波长光栅偏振器及制备方法

2017105627056 · 河北博夏光电信息科技有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
受让方:××新能源科技有限公司
交易类型:独占许可
交易金额:¥320万
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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
受让方:××生物医药有限公司
交易类型:转让
交易金额:¥1,200万
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SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
受让方:××汽车电子集团
交易类型:转让
交易金额:¥680万
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
受让方:××能源集团
交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年