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本发明涉及吸附协同低温等离子体催化处理废气的装置及方法，装置包括依次连接的进气管、第一气管、吸附单元、第二气管和排气管；进气管各排气管上均设有开关阀；还包括等离子体发生单元和解吸废气处理单元；等离子体发生单元连接空气通入支管，空气通入支管上设有空气开关阀，等离子体发生单元通过第五气管及第五气管上设有的抽气压缩泵机构与排气管连接，排气管连接有尾气处理单元；吸附单元内设有吸附剂和催化剂。本发明的吸附剂脱附再生效果更好，对VOCs降解效率更高，尾气中有害物质、活性物质更少；避免了高浓度废气直接由低温等离子体发生单元处理存在燃爆风险的问题，避免了催化剂置于低温等离子体发生单元中空间受限、副产物多的问题。