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专利名称:
一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法
申请号:
2021107272191
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明属于微纳米技术领域,具体涉及一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,包括以下步骤,S1:使用激光雕刻机对聚合物PMMA基板进行雕刻烧蚀处理,制备所需要的烧蚀孔和烧蚀槽;S2:将雕刻完成的聚合物PMMA基板放置于三氯甲烷溶液;S3:将带有三氯甲烷溶液的聚合物PMMA基板置于超声场;S4:将聚合物PMMA基板从超声场中取出,进行光照处理;S5:待三氯甲烷挥发充分后,使用乙醇溶液清洗聚合物PMMA基板。本发明能够有效改善聚合物PMMA基板微孔、槽表面的粗糙度,提高聚合物PMMA基板微孔、槽内表面的光滑度。
专利名称:
一种基于电场效应硅基内腔成形的方法
申请号:
2020102796478
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明属于微纳米制造技术领域,具体涉及一种基于电场效应硅基内腔成形的方法,本发明基于电场耦合温度场建立硅基总自由能方程,并对方程进行数值求解及仿真分析,通过C语言编程仿真与可视化处理,观察总结基于电场效应硅基内腔成形的变化规律,为硅基内腔成形的稳定性与可控性的数值模拟提供了新的思路;解决目前硅基内腔在单一温度场作用下成形时存在形状大小不稳定,成形结构存在缺陷的问题。
专利名称:
一种基于相场和温度场控制硅基内部微结构的方法
申请号:
2018107145866
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明公开了一种基于相场和温度场控制硅基内部微结构的方法。本发明利用硅原子的热扩散运动,基于相场和温度场研究硅基内部微结构的建模方法,建立起了硅基内腔稳定成型的计算模型,并通过改变外加热场,研究硅基内腔的成型变化机理,为微谐振腔制造的数值模拟提供了一条新的思路。
专利名称:
一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法
申请号:
2020105432967
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明公开了一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法,包括步骤:S1:在硅基光子晶体表面离子刻蚀出规则排列的二维阵列微孔;S2:采用两块水平的钼板作为电场的两个电极板,钼板电极分别与直流电源连接;S3:将硅片样品放置在水平管式炉的高温加热区内,保证管内真空环境,向管内通入一定流量的纯氩气;S4:将钼板放置在水平管式炉的上下两侧;S5:调节直流电压控制电场强度,并进行热处理。本发明在温度场的基础上,拟通过引入电场,通过调节电场强度、方向、作用时间等参数,利用热‑电耦合抵消内部机械应力,来保障硅基内部结构的稳定成形。
专利名称:
一种内部缺陷规则排列的三维光子晶体的制备方法
申请号:
2019104142644
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明属于微纳米制造技术领域,具体涉及一种内部球形缺陷规则排列的三维光子晶体的制备方法。包括:S1、在硅基光子晶体表面蚀刻规则排列的阵列微孔;S2、将蚀刻后的硅基光子晶体置于超声耦合高温成型装置,所述超声耦合高温成型装置包括高温加热器及其外部布设的超声波换能器;S3、调节超声波换能器产生的超声驻波的频率和功率,通过热‑声耦合作用成型得到内部缺陷规则排列的硅基三维光子晶体。本发明针对恒温环境下硅基光子晶体内部空腔的成型常存在形状不定和位置偏移等问题,引入超声驻波来定位内部缺陷结构成型的位置,从而实现硅基内部产生周期性规则排列的空腔结构,为高Q值的硅基三维光子晶体内部腔体位置的调控提供新的思路。
专利名称:
基于相场模型的聚合物表面微结构可控成形机理研究方法
申请号:
2020115813876
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明公开一种基于相场模型的聚合物表面微结构可控成形机理研究方法,包括步骤:S1、将样本即聚合物材料放入一定温度下加热使其达到熔融状态;S2、对熔融状态下的聚合物施加电场,通过图形化电极板、设置不同电场强度,诱导聚合物表面微结构成形为各式阵列结构,得到不同时段的聚合物表面微结构形态变化状况;S3、建立电场诱导聚合物表面微结构的系统模型;S4、对模型中的微分方程进行编译得到仿真数据,并将仿真数据导入可视化软件中进行图像显示,得到相应的模拟仿真结果。本发明利用仿真模拟电场诱导聚合物表面微结构成形的动态过程,更加直观的观察聚合物表面结构的成形变化,研究电场形状、参数、空气间隙、聚合物薄膜厚度等对实验的影响。
专利名称:
三维光子晶体内部球形缺陷定量成型的研究方法
申请号:
2019102035173
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明具体涉及基于表面能作用的三维光子晶体内部球形缺陷定量成型的研究方法,所述三维光子晶体的表面具有二维阵列圆柱孔,所述研究方法包括以下步骤:步骤一:建立三维光子晶体的相场模型;步骤二:建立系统表面能方程;步骤三:选定二维阵列圆柱孔的直径D和孔径距离Ds不变,不断改变圆柱孔的深度H,调整H/D的极限条件,以获取三维光子晶体的系统表面能与所形成的球形缺陷空腔的定量关系。本发明利用三维光子晶体介质粒子的热扩散运动,在系统表面能作用下实现对光子晶体内部球形缺陷定量成型的研究,建立系统表面能E与球形缺陷空腔数量N之间的内在联系,为三维光子晶体内部微结构的稳定成型提供了新的思路方法。
专利名称:
一种三维光子晶体内部缺陷成型定位的建模方法
申请号:
2019104117407
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明涉及一种三维光子晶体内部缺陷成型定位的建模方法,包括:定义硅基三维光子晶体上的二维阵列圆柱孔的尺寸参数;调节超声波的参数变量以定位硅基三维光子晶体内部缺陷中心位置;建立超声温度场数学模型方程;根据二维阵列圆柱孔的尺寸参数,调节超声波长以控制硅基原子的定向运动,且基于超声温度场数学模型方程,以控制硅基内部缺陷的成型。本发明利用声辐射力对硅基原子的定向运动机理,基于相场模型改变声辐射力的大小来控制内部缺陷的定位,建立了超声温度场数学模型,通过改变外加超声驻波的参数来调节声辐射力大小,研究三维光子晶体内部缺陷位置的变化机理,为周期性规则排列的三维光子晶体的数值模拟提供了新的思路。
专利名称:
便捷式热-电耦合诱导聚合物成型实验装置及其实验方法
申请号:
2021105915011
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 材料检测 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件
相似专利
发布日:2025/04/16
摘要: 本发明属于微纳米热‑电耦合诱导结构成型技术领域,具体涉及便捷式热‑电耦合诱导聚合物成型实验装置及其实验方法。包括滚珠丝杠、丝杠、千分尺滑台、连接件、装夹件、基板、下导电板、氧化铝陶瓷槽、直流稳压电源、高温加热平台、诱导模板和上导电板;所述滚珠丝杠与丝杠组合连接;所述装夹件与连接件固定连接;所述氧化铝陶瓷槽置于高温加热平台上方;所述下导电板置于氧化铝陶瓷槽中;所述基板置于下导电板上方;所述诱导模板固定于装夹件下方;所述装夹件底部设有凹槽,所述上导电板位于装夹件底部的凹槽中。本发明具有能够提高实验安全性和便捷性的特点。
专利名称:
一种在硅基材料内部形成球形空腔的方法和设备
申请号:
2021116658919
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 激光加工 芯片 半导体 电子元器件
相似专利
发布日:2025/02/07
摘要: 本发明涉及微纳米制造技术领域,尤其涉及一种在硅基材料内部形成球形空腔的方法和设备,所述方法包括以下步骤:(S.1)采用激光加工的方式,制备具有空腔的硅基材料;(S.2)在热场中置入(S.1)所述中已制备得到的具有空腔的硅基材料,进行热处理工艺;(S.3)在(S.2)所述环境中加入电场,对硅基材料进行诱导成形,完成硅基材料内部球形空腔三维结构。本发明首先将经过激光加工后的硅基材料进行热处理,在经过热处理后,硅材料空腔处的硅原子的原子迁移率大幅提升,然后在加入电场进一步对硅基材料进行诱导成形促使硅基内部三维结构成形,本发明在制备过程中具有简单可控的优点,通过该方法能够有效提升微纳器件的性能表现。
专利名称:
基于高压膨胀保护物料高长径比结构的粘土微纳米化方法
申请号:
2011101765543
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
粘土 微纳米
相似专利
发布日:2024/06/26
摘要: 本发明公开了一种基于高压膨胀保护物料高长径比结构的粘土微纳米化方法,粘土矿经“蓬松化”预处理后,引入具有可调控力场优势的高压膨胀作为解离力场,实现粘土矿微纳米化;具体步骤为:粘土矿掺水至含水量40-60%,或根据细度要求掺入质量浓度4%的六偏磷酸钠水溶液,对辊挤压2-3次;将预处理后粘土放入耐压密闭容器中,密闭加热至120-180℃,保温1-2小时后,快速泄至常压;将高压膨胀处理后粘土自然摊开,晾干或低温烘干脱水,得成软团聚状态的微纳米化粘土粉体。本发明充分利用粘土的吸水性能、水的相变及压力场的迅速调控,实现对高长径比粘土矿晶体结构无损伤的微纳米化。
专利名称:
基于激光超声技术的硅基内部微结构成型的控制方法
申请号:
201810485537X
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米 微机电 谐振器 半导体材料
相似专利
发布日:2024/09/24
摘要: 本发明公开了基于激光超声技术的硅基内部微结构成型的控制方法。该方法包括如下步骤:步骤一:将硅基置于在实验台架上,调节激光的入射角度;步骤二:打开激光发射器,完成一次聚焦点部位的加工;步骤三:重复步骤二,使其能够加工硅基内部空腔的不同位置,达到加工复杂空腔的目的。本发明利用激光激发超声波加工硅基材料内部,方法简单,操作难度低,且加工过程清洁无污染。
专利名称:
一种具有梯度孔结构的单向导湿微纳米纤维膜及其制备方法
申请号:
2022103160651
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
微纳米
相似专利
发布日:2024/01/09
摘要: 本发明公开了一种具有梯度孔结构的单向导湿微纳米纤维膜及其制备方法:(1)采用熔体近场直写技术制备内层疏水性微米纤维膜;(2)以疏水性纤维膜为接收基材,通过溶液静电纺丝技术制备外层亲水性纳米纤维膜,得到具有单向导湿功能的复合纤维膜。本发明制备的复合膜中的疏水性纤维膜具有梯度孔结构,利用熔体近场直写技术接收板速度与射流速度之间的差异会导致纤维沉积状态不同这一现象,通过控制接收板速度,进而改变每层纤维的沉积形态;又由于纤维沉积形态不同,会导致每层纤维膜孔型、孔径不同。因此,通过动态改变接收板速度可实现孔径在厚度方向上的梯度变化,从而同时满足水分快速透过和防止反向渗透的需要。
专利名称:
一种微纳米纤维素纤维的制备方法
申请号:
2020109472431
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
纤维 微纳米
相似专利
发布日:2023/10/23
摘要: 本发明公开一种微纳米纤维素纤维的制备方法,将蔗髓、氢氧化钠、水进行混合,在氧气气氛下进行蒸煮,将蒸煮后的浆液用蒸馏水洗涤至中性,筛分,干燥得到纤维素;称取干燥后的纤维素加入去离子水,混合物搅拌浸泡;将浸泡后的纤维素冰浴下超声,含有微纳米纤维素纤维的分散液进行梯度离心,获得不同尺寸级别的微纳米纤维素纤维;本发明根据“生物质资源化利用”的理念,将废弃蔗髓转化为具有可生物降解性和表面稳定性的微纳米纤维素纤维,基于这些特性,微纳米纤维素纤维在储能、光电子器件、生物医学等诸多领域都有着巨大的应用潜力。
专利名称:
Bi2S3@Cu2O@Cu微纳米异质结构的制备方法
申请号:
2019104629496
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
C 微纳米
相似专利
发布日:2023/10/17
摘要: 本发明公开了一种Bi2S3@Cu2O@Cu微纳米异质结构的制备方法,包括以下步骤:通过Bi2S3纳米线复合铜氧化物在Bi2S3表面生长铜氧化物及铜单质以形成Bi2S3@Cu2O@Cu的异质结构;通过复合具有不同能级的Bi2S3和Cu2O两个半导体以及Cu单质可以有效提高太阳能的吸收率和抑制光生电子对的复合率,达到提高材料性能的目的,并通过调控反应原料比例、反应时间以实现调控异质结的密度、形貌和尺度。该方法工艺简单,反应温度相对较低,反应条件易于控制,成本低廉、操作简单,在制备过程中没有采用表面活性剂和有机助剂,反应过程中采用无毒的、常规的原料和试剂,生产成本低廉且环保。
专利名称:
基于气液体微纳米切割细化的高氧水制备系统
申请号:
2015109707135
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
气 微纳米
相似专利
发布日:2023/10/17
摘要: 本发明涉及一种基于气液体微纳米切割细化的高氧水制备系统,特征是:包括Y型过滤器、粗过滤器、轴向中心加气装置、静态螺旋切割装置、紫外线杀菌装置、精过滤器和活性炭吸附及超滤设备。所述静态螺旋切割装置包括切割管,切割管中心设置芯轴,芯轴端部设置导水锥,在芯轴上依次叠加切割片形成螺旋形,切割片上具有叶片,螺旋形的侧面形成阶梯状切割刃口。所述轴向中心加气装置包括加气头,在加气头上安装管座,管座中设置导气管,导气管连接气管;在所述导气管的内端安装节流座,节流座上设置加气孔,加气孔的轴线与加气头、切割管的轴线同轴。本发明实现气体和水的微纳米量级的切割细化和混合,消耗能量极少,获得低成本、大产量超饱和高氧水。
专利名称:
一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法
申请号:
2013103156657
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
布 表 微纳米
相似专利
发布日:2023/10/17
摘要: 本发明公开了一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法。实现本发明利用脉宽15fs到5ps的超短脉冲激光所诱导的等离子体细丝直接辐照金属表面,通过控制超短脉冲激光参数及其丝在金属表面的扫描速度和扫描间距实现等离子体细丝对金属表面诱导微纳米结构尺寸和分布的控制:通过改变激光诱导等离子细丝的入射角度改变微纳米结构的朝向;通过改变激光的偏振态,实现对微纳米结构形状的控制。本专利提供了一种可用于优化设计太阳能吸收体等器件的方法。
专利名称:
一种磁驱动微纳米机器人的设计及其制备方法和驱动方式
申请号:
2020114211408
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
机器人 微纳米
相似专利
发布日:2023/10/17
摘要: 本发明公开了一种磁驱动微纳米机器人的结构设计及其制备方法和驱动方式。磁驱动微纳米机器人的主体结构为梭形双叶带式螺旋,通过路径优化后的双光子聚合激光直写技术实现了机器人的真三维制作,并在机器人的表面溅射了用于磁驱动的镍层和用于提高机器人的生物相容性的钛层,使用锥形旋转均匀磁场对机器人进行驱动,并通过将三轴亥姆霍兹线圈磁场发生装置与微动台、CCD相机和超声三维诊断仪等仪器进行结合,实现了机器人的体外高精度驱动和体内可视化驱动。本发明提供的一种磁驱动微纳米机器人,由于其体积小且具有生物相容性,在生物医学、微流控、纳米工程等领域具有重要的应用价值。
专利名称:
高度均一磷酸钆微纳米发光材料的绿色简易调控合成方法
申请号:
2020110417079
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
调控 微纳米
相似专利
发布日:2023/10/17
摘要: 本发明公开了一种高度均一磷酸钆微纳米发光材料的绿色简易调控合成方法,用钆源、磷酸源和低毒溶剂,通过溶剂热法简易调控合成形貌、尺寸均一、单分散的GdPO4:Eu3+微纳米发光材料,通过进一步煅烧,可以得到不同形貌的单斜相/四方相GdPO4:Eu3+微纳米发光材料,减少了合成过程的能源消耗,简化合成过程,解决了均一磷酸钆微纳米材料的合成过程复杂的问题。
专利名称:
超轻高弹丝素微纳米纤维气凝胶及其制备方法与应用
申请号:
2019107025159
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
胶 气 纤维 微纳米
相似专利
发布日:2023/10/17
摘要: 本发明公开了一种超轻高弹丝素微纳米纤维气凝胶及其制备方法与应用。通过使用三元溶液溶胀丝素,并经机械剪切后,首次制得具有孔隙结构的丝素微纳米纤维,使用该丝素微纳米纤维制备得到具有超轻质量及优良力学性能的丝素微纳米纤维气凝胶。本发明通过改变混合液中丝素微纳米纤维与聚乙烯醇的质量比,调控气凝胶的密度以及孔形态。通过上述方式,本发明制得的丝素微纳米纤维分布均匀且具有孔隙结构,由此制备的气凝胶网络结构良好,具有轻质、三维结构稳定、力学回弹能力优良等优势,且整体制备过程简单、易于调控、成本较低,利于产业化,在绝热和环境过滤领域具备显著的应用价值。
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