本发明公开一种蘑菇型结构神经突触仿生器件,是采用0.13μm CMOS工艺制备而得的蘑菇型结构,该器件结构自下至上依次包括Si(100)基片制备的衬底、Al材料底电极、SiO2中间介质层、在中间介质层上形成的W加热电极、Ti‑Zn‑Sb存储介质层、TiN粘附层和Al材料顶电极。Tix(ZnySb100‑y)1‑x相变材料作为神经突触仿生器件中的存储介质,可以在5~500 ns电信号脉冲宽度作用下实现多态阻值之间的转换,其中间态电阻值能够提供约8 bit的分辨率,开关电阻差异约为2个数量级。在相同脉冲操作下可以实现电阻对脉冲个数的线性响应,符合突触仿生器件的电学性质要求。
📄 2021104102998
📂 H01L45_00
👤 江苏理工学院
📅 2021-04-16