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本发明属于机械制造金属切削刀具领域，特别是涉及一种SiNbC/SiNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺，在刀具基体上从内到外依次为：Ti过渡层、SiNbC涂层与SiNbCN涂层交替的复合叠层结构，最外层为SiNbCN涂层。本发明采用非平衡磁控溅射+电弧离子镀的复合镀膜方法，直接采用非平衡磁控溅射SiNbC复合靶作碳源，且沉积温度控制在300℃以下，可在更为广泛的刀具或工具基体上制备；本发明所制备的SiNbC/SiNbCN叠层复合涂层刀具综合了SiNbC碳化物涂层、SiNbCN碳氮化合物涂层及叠层结构的优点，较传统的碳氮化合物涂层刀具具有更优良的物理机械性能，可广泛应用于钢、铁素体、马氏体不锈钢、铸铁、钛合金等绝大多数工件材料的精加工和半精加工。