本发明提供单类及多类微小物体悬浮定向移动及自主装巨量转移方法。通过对微小物体和目标载板进行表面处理,使目标载板目标位置具有不同的表面能。将微小物体和目标载板放入溶液中,在溶液中溶入或通入气体并析出气泡包裹微小物体进行悬浮上升靠近目标载板。利用目标载板目标位置的表面能的差异,使气泡和芯片被目标位置捕获并停留,再进行除气处理,使气泡溶解,微小物体与目标载板的目标位置进行结合。对目标载板不同目标位置进行差异化表面处理,可以进一步在不同溶液中依次实现多类微小物体的悬浮定向移动及自主装巨量转移。本发明提供单类及多类微小物体悬浮定向移动及自主装巨量转移方法,具有效率高,定位精度高,易操作的优点。
📄 2020101580512
📂 H01L21_67
👤 广东工业大学
📅 2020-03-09