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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

实用新型已授权

本实用新型涉及精密设备技术领域，具体为一种用于精密仪器的防微震基座，包括机体和底座，所述机体底端一体成型对称设置圆形凸块，所述圆形凸块卡接在第一放置槽中，所述第一放置槽设置在柱体上，柱体一体成型设置在主体的上端，所述主体底端卡接在第二放置槽中，所述第二放置槽一体成型设置在滑板上端，所述滑板两侧一体成型对称设置滑块，对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座，通过本实用新型可以快捷进行安装、拆卸和更换，从而保证防微震基座的防震性能，进而保证精密仪器的工作质量。

📄 2019213165212 📂 F16M5_00 👤 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司 📅 2019-08-14

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一种用于精密仪器的防微震基座

2019213165212 · 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

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