微纳加工技术 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

本发明公开了一种在球面基底上实施软光刻技术的装置及其使用方法，涉及微细加工领域，包括：固定支架、固定悬梁、主腔体、主腔体高度调节部、气压表、充气接头。使用时，将PDMS软模板有微纳结构的一面朝外固定好，通过控制主腔体内气压的大小和主腔体的固定高度，使PDMS软模板与涂有固化胶的球面基底实现紧密接触，然后通过加热板固化胶体，待胶体固化后将球面基底与PDMS软模板分离，此时便在球面基底上制得微纳结构。本发明装置易于加工，操作方便，使用方法简单，能够满足在不同口径、不同曲率半径球面基底上实施软光刻技术的要求。

📄 2019100293325 📂 G03F7_20 👤 鲁东大学 📅 2019-01-13

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一种在球面基底上实施软光刻技术的装置及其使用方法

2019100293325 · 鲁东大学

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