本发明涉及电子器件领域,公开了一种探针基准补偿系统及方法。本发明实施方式中,探针基准补偿系统包括探针补偿设备、计算装置以及轴机,探针补偿设备与计算装置以及轴机连接,计算装置将3D支撑曲面转换为虚拟平面,探针补偿设备根据虚拟平面与被测产品的基准面的倾斜角度,控制轴机旋转使虚拟平面与基准面平行,其中,被测产品同一平面内四个探测点位构成被测产品的基准面。本发明实施方式能有效节约探针时间,节省加工成本,提升产品品质。
📄 2016112109362
📂 G01B21_00
👤 成安军
📅 2016-12-24