离子渗氮技术 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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本发明涉及一种离子氮化装置，尤其涉及一种渗氮可控的零污染离子氮化装置，其包括炉体、炉底盘、传动系统、可调阴极系统、快速冷却系统、可调阳极系统、零污染气体循环系统；炉体置于炉底盘正上方形成渗氮室；传动系统固定于炉底盘中部；可调阴极系统、快速冷却系统和可调阳极系统置于渗氮室中部；零污染气体循环系统置于炉底盘外下部。本发明解决了传统离子氮化装置的升温慢与降温慢，阴阳极间距不可调，渗氮不可控以及氨气污染的技术问题。本发明涉及的装置也适合材料表面的物理气相沉积及化学气相沉积。

📄 2017103879902 📂 C23C8_36 👤 西华大学 📅 2017-05-27

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渗氮可控的零污染离子氮化装置

2017103879902 · 西华大学

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