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本实用新型公开了气相沉积技术领域的基于穿孔泵板的沉积设备用气体混合装置,包括混合箱和进气箱,进气箱中设有第一活塞组件和进气管,混合箱的上部设有第二活塞组件,下部设有泵板,泵板上设有排气腔和螺纹筒,螺纹筒上设有封口板和多个直槽口,本实用新型通过第一活塞组件使两种气体进入进气箱中初步接触混合,然后使气体通过分散孔分散后进入混合腔中再混合,提高初步混合的效果;第二活塞板下移,使混合气体向下通过泵板的排气腔泵出,并通过螺纹筒上的直槽口再次分散后混合,使混合气体多次分散后再混合,使混合更加充分和均匀;在螺纹筒上的结构出现损坏等情况时,能够将螺纹筒拆卸进行更换维修等。
📄 2022209523847 📂 B01F23_10 👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司 📅 2022-04-24
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实用新型 已授权

基于穿孔泵板的沉积设备用气体混合装置

2022209523847 · 广州市鸿浩光电半导体有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
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交易金额:¥320万
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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
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SiC功率器件工艺专利

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交易类型:转让
交易金额:¥680万
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
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交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年