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  • 专利名称:一种用于安装气体传感器的柔性衬底      申请号:2017114224590     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:气体传感器 柔性基材   相似专利 发布日:2025/01/13  
    摘要: 本发明提供了一种用于安装气体传感器的柔性衬底,其用于在其中安装气体传感器芯片,包括在柔性衬底中形成的凹槽,柔性衬底中凹槽的底面设置第一金属层,所述第一金属层上设置柔性介电材料层,在柔性介电材料层上设置第二金属层,在第二金属层上设置绝缘层,在绝缘层上设置,在凹槽四周的柔性衬底材料中埋设金属线圈,凹槽中用于设置阵列气体传感器,解决了目前气体传感器用于柔性情形下的问题,同时使气体传感器小型化,在柔性衬底中直接集成气体传感器,同时加入电容及电感,在对气体传感器加热的同时在电路中加入电感和电容元件,节省形成的电路结构的体积。
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