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  • 专利名称:一种自适应光栅尺误差补偿方法      申请号:202210385038X     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:高精度测量仪器 位移传感器 工件测量   相似专利 发布日:2025/03/19  
    摘要: 本发明提供一种自适应光栅尺误差补偿方法,该方法首先对测量误差进行模态分解得到若干个带宽有限的IMF分量,减少了冗余误差的影响,得到更加合理的分解结果,利于后续的本征信号重构;然后,为了选取符合条件的IMF分量来重构测量误差的本征信号,根据本征信号低复杂度、高幅度的数据特征过滤掉了IMF分量中的随机信号分量;由于一些残余噪声可能会泄露到这些候选IMF分量中,影响补偿性能,定义了一个贡献系数从候选IMF中进一步地选出符合条件的IMF分量,并将其用于重构测量误差的本征信号,通过本发明所提出的粗筛到精选的自适应本征分量选取方案,时间成本大大降低,本征信号趋于最优,最后,通过消除测量误差中的本征信号来实现误差补偿。
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