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摘 要:本实用新型公开了一种基于数字叠栅条纹的光刻对准系统,包括接收不同轴向设置的曝光光源和对准光源的第一分束器;数字微反射镜接收经第一分束器反射的对准光源,对准光源依次通过第一透镜和第二分束器,将数字微反射镜中生成的数字光栅投影至硅片平面上,数字光栅被硅片平面反射,再次经过第二分束器后通过第二透镜,并成像于第一CCD相机;物理对准光栅的像经过第三透镜并被第二CCD相机接收。对第一CCD相机和第二CCD相机采集的光栅图像进行叠加生成数字叠栅条纹,灵活性高、简化了系统结构,减少了光学元件引入的误差,可突破光学元件本身的分辨率限制,对准精度高。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202321698430.6 | 专利名称: | 一种基于数字叠栅条纹的光刻对准系统 |
申请日: | 2023-06-28 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 其他 相似专利 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
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专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |