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摘 要:本发明公开了一种差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法。单频激光器输出的光束经偏振片转换为45°线偏振光,射向由分光镜、电光相位调制器、二分之一玻片、三个角锥棱镜、两个偏振分光镜组成的两套正弦相位调制干涉仪,形成测量和参考干涉信号,两个光电探测器接收;两套干涉仪公共参考臂的电光相位调制器施加高频正弦电压信号,将干涉信号调制为高频交流信号;检测被测对象运动时两路干涉信号的相位变化量之差,得到被测位移。本发明通过正弦相位调制提高了干涉信号的抗干扰能力,采用差动光路消除了参考臂和部分测量臂的温度漂移和环境扰动误差,具有亚纳米级测量精度,适用于高端装备制造与精密测试计量领域的精密位移测量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910681897.1 | 专利名称: | 差动式正弦相位调制激光干涉纳米位移测量装置及方法 |
申请日: | 2019-07-26 | 申请/专利权人 | 浙江理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市江干经济开发区2号大街928号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 激光 相似专利 |
公开/公告日: | 2019-11-05 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110411335A | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |